テーマエディタが利用できません

先日、最新版をインストールしました。

デザインを変更しようとテーマエディタを開くまではいいのですが、
「ファイルの更新」ボタンを押しても更新できずに500エラーが出てしまいます。

書き込み属性はffftpでアップロードした後基本的に変更していません。
書き換え先のファイルは過去ログを元に666や777にしてみましたがダメでした。
/wp-admin/theme-editor.php も777にしてみましたが出来ませんでした。

サーバーはXserverです。
もし原因が分かるようでしたら教えていただけませんでしょうか。
よろしくお願い致します。